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hmds熏蒸機(jī)，hmds熏蒸烤箱通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

精密烤箱，封裝烤箱適用于烘烤有化學(xué)性氣體欲烘烤物品、基板應(yīng)力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。廣泛使用于PCB、電子、電機(jī)、通訊、電鍍、塑料、五金化工、印刷、噴涂、玻璃、陶瓷等的精密烘烤、高溫去應(yīng)力、老化、烘干、定型、加工等。

半導(dǎo)體烤箱，wafer烤箱于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預(yù)處理烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

軟烘烤箱，硅片烤箱工作室內(nèi)充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無氧烤箱主要用于：晶圓、硅片、玻璃等制程烘烤，IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等電子、IC、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。

晶圓烤箱，超潔凈烤箱工作室內(nèi)充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無氧烤箱主要用于：晶圓、硅片、玻璃等制程烘烤，IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等電子、IC、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。

堅(jiān)膜烘箱，真空堅(jiān)膜烤箱用于半導(dǎo)體制造中半導(dǎo)體襯底片、硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料顯影后堅(jiān)膜烘烤；也適用于涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤以及電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

LED氣相成底膜處理系統(tǒng)，氣相成底膜真空烘箱在將晶片用濕法清洗臟污后甩干,為了增強(qiáng)晶片與光刻膠之間的黏附性,用六甲基二硅胺烷（HMDS）做成底膜處理。目前在LED芯片制造中用HMDS成膜處理一般是在一個(gè)集脫水烘焙和氣相成膜兩種作用的真空腔中進(jìn)行,這種方法可以實(shí)現(xiàn)批量處理。