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HMDS蒸鍍烤箱,可程式HMDS機(jī)臺(tái) 工業(yè)烘箱
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HMDS蒸鍍烤箱,可程式HMDS機(jī)臺(tái)通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)

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SECS/GEM通訊HMDS鍍膜機(jī) 工業(yè)烘箱
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芯片HMDS預(yù)處理,可編程HMDS 真空烘箱
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HMDS蒸鍍真空烤箱,芯片HMDS蒸鍍烤箱 真空烘箱
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HMDS蒸鍍真空烤箱,芯片HMDS蒸鍍烤箱HMDS的HMDS蒸鍍就是利用惰性氣體(例如氮?dú)猓е鳫MDS的蒸汽通過(guò)芯片表面,而在晶面上形成一層薄膜

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HMDS鍍膜機(jī)
HMDS鍍膜機(jī)

HMDS鍍膜機(jī)通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

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HMDS烤箱
HMDS烤箱

HMDS烤箱將HMDS涂到LED、半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

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HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 真空烘箱
HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 真空烘箱

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料。

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